随着国家对火电厂及锅炉污染物排放的要求越来越严格，废气治理中脱硫脱硝已成为控制烟气污染物技术的主要方式，其燃烧过程排放的NOx、SO2等污染物造成严重的雾霾大气污染，危害人类健康。对NOx的控制广泛选择的是催化还原法（SCR）和非催化还原法（SNCR）传统脱除技术方法，运行费用高，难以达到国家排放标准。

　　臭氧脱硝洗涤作为一种最先进脱硝工艺，利用臭氧作为清洁的强氧化剂，可以快速有效地将烟气中NOx的主要组成是NO（占95%）氧化到高价态。而高价态的NO2、N2O5等可溶于水和吸收液产生HNO2和HNO3，简易溶解回收，效率有很大提高，从而促进SO2氧化吸收，利于SO4根离子的形成，达到同时脱硫脱硝的目的。目前利用臭氧进行脱硫脱硝在广泛应用阶段。臭氧投加系统设立在引风机出风口与烟囱进风口之间。电除尘后的烟气经引风机被送入洗涤塔的进风口，烟气在塔内由下而上首先进入水喷淋脱硝净化区，经吸收液多层循环喷淋后，90%以上的NOx气体在此净化区将被脱除。它吸附NOx后生成硝酸盐和HNO3；

　　塔内烟气一级脱硝后继续向上进入二次脱硝净化区。在这一区段内，烟气中的NOx气体、酸雾和微小颗粒，重金属被二次洗涤吸收进一步净化，几乎所有的大氧化物在这一区域全部吸收净化。

　　烟气经二级脱硝净化后进入除雾区，经除雾器除去烟气中大于μm的雾粒，使烟气中的水分含量达到75mg/L以下，经除雾脱水后的洁净烟气直接进入烟囱，排入大气。受喷淋液中的水和碱液被回收储水池，简单处理后继续循环回收利用，循环使用达到一定浓度后送往当地水处理厂进行处理。出口烟气的SO2、NO浓度低于环保部门提出的控制指标。